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手動測量儀器的誤差主要來源於哪些
- 2022-06-29-

要了解手動測量儀的測量精度╃☁,就必須瞭解影片測量儀的誤差來源₪│。影像測量儀上的測量是單軸或二維平面座標的測量₪│。測量時╃☁,先對焦╃☁,再對齊╃☁,讀取(計數)╃☁,然後計算處理₪│。讀數來自標尺╃☁,即光柵系統╃☁,聚焦依賴於光學成像系統╃☁,還有直接影響測量效果和精度的照明光源╃☁,因為╃☁,對於成像法測量的儀器╃☁,如果被測物體不能得到有效₪│·、正確的照明╃☁,則測量結果明顯偏離其真實尺寸₪│。除上述因素外╃☁,環境條件也是制約測量精度的因素╃☁,不容忽視₪│。基於以上分析╃☁,可以總結出以下幾個方面的誤差來源₪│。

1)光柵尺計數誤差;

2)工作臺移動時直線度和角擺造成的誤差;

3)工作臺兩個測量軸的垂直度誤差;

4)鏡片光軸與工作臺不垂直帶的誤差;

5)測量環境溫度變化引起的誤差;

6) 光源照明條件變化引起的對焦和對準誤差₪│。

在這些因素中╃☁,前四個誤差為硬體誤差╃☁,在影像測量儀的製造過程中已經形成並固定╃☁,一般無法改變₪│。以減少其影響₪│。然後一項經常被忽略₪│。在實際測量中╃☁,當光源的光照條件發生變化時╃☁,直接影響到被測工件的光照效果和影象質量₪│。如果影象測量儀的影象是透過CCD接收的╃☁,雖然CCD具有自動調節增益的功能╃☁,但是當亮度過高時╃☁,就會失去調節功能╃☁,導致工件的影象縮小到被測量₪│。當亮度過低時╃☁,工件的影象會變大₪│。

這種影響╃☁,在測量重複圖案結構之間的間距時╃☁,只要光照條件在整個測量過程中保持不變╃☁,就可以忽略╃☁,因為每個重複圖案結構同時變大或變小╃☁,間距的測量可以忽略.計算直接消除了影象變形的影響╃☁,如測量玻璃尺₪│·、格板間距;除此特殊情況外╃☁,如測量圓的直徑₪│·、工件的長度和寬度╃☁,都會帶來明顯的誤差₪│。


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