要了解手動測量儀的測量精度▩╃·↟•，就必須瞭解影片測量儀的誤差來源↟│。影像測量儀上的測量是單軸或二維平面座標的測量↟│。測量時▩╃·↟•，先對焦▩╃·↟•，再對齊▩╃·↟•，讀取（計數）▩╃·↟•，然後計算處理↟│。讀數來自標尺▩╃·↟•，即光柵系統▩╃·↟•，聚焦依賴於光學成像系統▩╃·↟•，還有直接影響測量效果和精度的照明光源▩╃·↟•，因為▩╃·↟•，對於成像法測量的儀器▩╃·↟•，如果被測物體不能得到有效╃│·•、正確的照明▩╃·↟•，則測量結果明顯偏離其真實尺寸↟│。除上述因素外▩╃·↟•，環境條件也是制約測量精度的因素▩╃·↟•，不容忽視↟│。基於以上分析▩╃·↟•，可以總結出以下幾個方面的誤差來源↟│。

1）光柵尺計數誤差；

2）工作臺移動時直線度和角擺造成的誤差；

3）工作臺兩個測量軸的垂直度誤差；

4）鏡片光軸與工作臺不垂直帶的誤差；

5）測量環境溫度變化引起的誤差；

6) 光源照明條件變化引起的對焦和對準誤差↟│。

在這些因素中▩╃·↟•，前四個誤差為硬體誤差▩╃·↟•，在影像測量儀的製造過程中已經形成並固定▩╃·↟•，一般無法改變↟│。以減少其影響↟│。然後一項經常被忽略↟│。在實際測量中▩╃·↟•，當光源的光照條件發生變化時▩╃·↟•，直接影響到被測工件的光照效果和影象質量↟│。如果影象測量儀的影象是透過CCD接收的▩╃·↟•，雖然CCD具有自動調節增益的功能▩╃·↟•，但是當亮度過高時▩╃·↟•，就會失去調節功能▩╃·↟•，導致工件的影象縮小到被測量↟│。當亮度過低時▩╃·↟•，工件的影象會變大↟│。

這種影響▩╃·↟•，在測量重複圖案結構之間的間距時▩╃·↟•，只要光照條件在整個測量過程中保持不變▩╃·↟•，就可以忽略▩╃·↟•，因為每個重複圖案結構同時變大或變小▩╃·↟•，間距的測量可以忽略.計算直接消除了影象變形的影響▩╃·↟•，如測量玻璃尺╃│·•、格板間距；除此特殊情況外▩╃·↟•，如測量圓的直徑╃│·•、工件的長度和寬度▩╃·↟•，都會帶來明顯的誤差↟│。